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無塵車間凈化等級劃分是依據什么?

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無塵車間凈化等級劃分是依據什么?

發布日期:2020-05-25 作者:李樹貴 點擊:

凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現在2010年版的GMP凈化車間已經不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區域內的塵埃粒子數、浮游菌數、沉降均數評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態、動態兩種。

 

 

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()潔凈室之等級世界各國均有自定規格,但普遍還是用美國聯邦標準209為多,以下僅就209D209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較?! ?/span>

209E209D等最大之不同在于209E表示單位

增加了公制單位,潔凈室等級以M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….以此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數目字以10的冪次方表示,取指數為之,若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。

潔凈網z:Wg1pj   美國聯邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10的冪次方,取其指數而得。

()潔凈室之定義  潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或潔凈室?! 笣崈羰摇故侵笇⒁欢臻g范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性?! ?/span>

潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。

()潔凈室控管之項目  

1.能除去空氣中飄游之微塵粒子?! ?/span>

2. 能防止微塵粒子之產生?! ?/span>

3. 溫度和濕度之控制?! ?/span>

4. 壓力之調節?! ?/span>

5. 有害氣體之排除?! ?/span>

6. 結構物與隔間之氣密性?! ?/span>

7. 靜電之防治?! ?/span>

8. 電磁干擾預防?! ?/span>

9. 安全因素之考慮?! ?/span>

10. 節能之考量。


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